次世代の電子顕微鏡技術 - エネルギー弁別電子検出器

国立研究開発法人物質・材料研究機構

茨城県つくば市千現１－２－１

この技術でできること

本特許は、エネルギー弁別電子検出器を走査電子顕微鏡に取り付けることで、より精度の高い観察を可能にする技術を提供します。

相談したいこと

技術の特徴

本特許では、主電極がグリッド状であり、電子検出器の前面に正電圧を印加したグリッド状の電極を設ける技術を提供します。また、検出単位は電子線の入射方向に対して同心円状または放射状に配置されます。この電子検出器は複数の検出単位からなり、主電極に印加される負電圧は直流電圧であるか、直流電圧に交流電圧を重ねた電圧です。また、主電極はエネルギーが50eV以下または5eV以下の電子を反射します。さらに、電子顕微鏡には電子軌道制御機構が設けられ、SE3電子の発生を抑制しながら二次電子をアウトレンズ検出器に導きます。この電子軌道制御機構は試料室の壁面に設けられた電極から構成され、電位を制御することでSE3電子の発生の抑制と二次電子の軌道を修正します。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 半導体製造材料科学医療技術

高精度な電子顕微鏡の開発

本特許の技術を活用することで、より高い解像度と精度を持つ電子顕微鏡を開発することが可能となります。電子顕微鏡の画質向上は、材料科学や生物学などの研究において重要な役割を果たします。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2016-550142
発明の名称: エネルギー弁別電子検出器及びそれを用いた走査電子顕微鏡
出願人／権利者: 国立研究開発法人物質・材料研究機構
住所: 茨城県つくば市千現１－２－１
公開番号: WO2016/047538
登録番号: 特許第6440128号

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