革新的な有機TFTアレイの検査装置とその方法

国立研究開発法人産業技術総合研究所

茨城県つくば市梅園１－１－１　つくば中央第１（産総研内）

この技術でできること

本特許は、有機半導体薄膜トランジスタ（TFT）アレイの検査装置とその方法に関するもので、アレイ中の欠陥や各TFT素子の出力特性、応答速度のばらつきを検出・評価することが可能です。

相談したいこと

技術の特徴

本特許の検査装置は、有機TFTエアレイを光学的に撮像し、ソースとドレインを短絡させて所定周期で電圧をオン・オフさせる機能を持つ。また、単色光を照射し、電圧印加前後の撮像を同期させる撮像装置、その画像データから差分イメージを得る画像解析装置も含む。さらに、画像解析装置は差イメージの積算処理と、各有機TFTの個体差の検査、応答速度差の検査が可能。特に画像解析装置は、各有機TFTの応答速度差を検査するために、電圧のオン・オフとそれぞれの所定時間経過後に撮像を開始する機能も持つ。

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高品質のディスプレイ製造

本特許技術を活用することで、有機TFTエアレイの断線や欠陥、出力特性や応答速度のばらつきを検出・評価することで、ディスプレイ製造工程での品質管理を強化できます。これにより、高品質なディスプレイの製造が可能となります。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2016-542585
発明の名称: 有機ＴＦＴアレイ検査装置及びその方法
出願人／権利者: 国立研究開発法人産業技術総合研究所
住所: 茨城県つくば市梅園１－１－１　つくば中央第１（産総研内）
公開番号: WO2016/024585
登録番号: 特許第6238389号

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