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革新的な物理・化学センサアレイの製造法

国立大学法人豊橋技術科学大学

愛知県豊橋市天伯町雲雀ケ丘1-1

この技術でできること

物理・化学現象を効率良く検出するための新たなセンサアレイの製造法を提供します。

技術の特徴

本特許は、物理・化学センサアレイの製造法について述べています。複数の物理・化学センサを基板上に形成し、それぞれのユニットごとにセンサの可動膜の外側表面に形成される複数の中空部を直列に接続することを提案しています。この方法により、物理・化学現象の高精度な検出が可能となります。さらに、センサアレイを使用したセンシングデバイスの製造方法も述べられており、一部のユニットを参照用とし、他方の一部または全部を検出用とすることで、より広範かつ詳細なデータを得ることが可能です。この製造法は、物理・化学現象の検出を必要とする各種産業において大いに活用できるでしょう。

関連キーワード

物理センサ化学センサセンサアレイセンシングデバイス製造法

AIによる特許活用案

おすすめ業界 医療産業製造業研究開発

高精度な物質検出器の開発

この製造法を用いることで、特定の物質の存在を高精度に検出するセンサアレイを開発することが可能です。製造業や研究開発において、微量の物質検出が求められる場面で大いに活用できるでしょう。

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参考情報

活用条件

  • サブスクリプション・未選択
  • 権利譲渡・未選択
  • ライセンス契約・未選択
商品化・サービス化
ASK
実証実験
ASK
サンプル・プロトタイプ
ASK

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権利概要

出願番号
特願2016-513828
発明の名称
物理・化学センサおよび物理・化学現象センシングデバイスならびにこれらの製造方法
出願人/権利者
国立大学法人豊橋技術科学大学
住所
愛知県豊橋市天伯町雲雀ケ丘1-1
公開番号
WO2015/159945
登録番号
特許第6433988号
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