革新的なマイクロ波プラズマ処理装置で、あらゆるプラズマ処理を可能に

国立研究開発法人産業技術総合研究所

茨城県つくば市梅園１－１－１　つくば中央第１（産総研内）

掲載画像・国立研究開発法人産業技術総合研究所

この技術でできること

ガスとマイクロ波を利用してプラズマを発生させ、ウェハ等の接処理基板にプラズマを使用した各種処理を行うマイクロ波プラズマ処理装置

相談したいこと

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技術の特徴

本特許は、マイクロ波プラズマ処理装置に関するもので、複雑なプラズマ処理を可能にします。装置は、誘電体基板、テーパー部、マイクロストリップ線路、アース導体、マイクロ波入力部、マイクロ波集中の隙間、ガス供給板、ガス入力口、ガス流路、プラズマ発生部、ノズル等を備えています。特に、マイクロ波とガスを使ってプラズマを発生させ、さらにノズルを通じてプラズマを吐出します。そして、このプラズマを使ってウェハ等の接処理基板にCVD、エッチング、アッシング、プラズマ窒化などの処理を施すことができます。また、希ガス、反応性ガス、またはその混合ガスを供給し、さまざまな気圧範囲でプラズマを発生させることが可能です。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 半導体製造材料科学電子部品製造

半導体製造プロセスの効率化

本装置を半導体製造プロセスに導入することで、CVDやエッチングなどのプラズマ処理作業の効率と精度を向上させることができます。これにより、製品の品質向上と生産性の向上が期待できます。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2015-534339
発明の名称: マイクロ波プラズマ処理装置
出願人／権利者: 国立研究開発法人産業技術総合研究所
住所: 茨城県つくば市梅園１－１－１　つくば中央第１（産総研内）
公開番号: WO2015/030191
登録番号: 特許第6153118号

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