超微小リーク試験の新基準：信頼性の高いリーク検出装置

国立研究開発法人産業技術総合研究所

茨城県つくば市梅園１－１－１　つくば中央第１（産総研内）

掲載画像・国立研究開発法人産業技術総合研究所

この技術でできること

本発明は、非常に微小なリーク量の試験が要求される状況に対応するための新たなリーク試験装置について述べています。

相談したいこと

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技術の特徴

この特許では、信頼性の高いリーク試験装置を提供します。この装置は、参照リーク発生装置を使用して、10パム以下の参照リークを生成することが可能です。また、分子流コンダクタンスCと分子流が実現する圧力条件が既知のオリフィスまたは多孔質体を介して、そのリークを測定室へ導入します。この装置は、校正手段を備えており、高い信頼性を持つことが特徴です。特に、MEMSパッケージ、水晶振動子、各種半導体パッケージ、赤外線センサーパッケージ等の超微小リーク試験に有用であり、非常に微小なリーク量の試験が要求される状況に適しています。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 半導体製造業センサー製造業MEMS製造業

高精度リーク検査装置の製造

本発明を活用して、非常に微小なリークを検出できる高精度リーク検査装置を製造することができます。これにより、リーク試験が厳しい要求を満たす必要がある製品の検査で有利となります。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

掲載者による選択状態を表示しています。未選択や ASK は、利用不可を意味するものではありません。

権利概要

出願番号: 特願2014-548520
発明の名称: 参照リーク発生装置およびそれを用いた超微小リーク試験装置
出願人／権利者: 国立研究開発法人産業技術総合研究所
住所: 茨城県つくば市梅園１－１－１　つくば中央第１（産総研内）
公開番号: WO2014/080798
登録番号: 特許第6091017号

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