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革新的な基板貼り合わせ装置

芝浦メカトロニクス株式会社

神奈川県横浜市栄区笠間2-5-1

革新的な基板貼り合わせ装置
掲載画像・芝浦メカトロニクス株式会社

この技術でできること

弾性のある部分が特長の高精度基板貼り合わせ装置

技術の特徴

本特許は、精度の高い基板貼り合わせ装置に関するもので、一対の基板を貼り合わせる際に使用されます。この装置は、基板の少なくとも一部が弾性部材により構成されている点が特徴です。また、基板の側辺端面に外力を与えることで、基板を予め中心ブロックに寄せて形成する機能も備えています。さらに、基板は中心ブロックと分離ブロックの全体形状に依存して曲げ形成され、分離ブロックに吸着されます。両基板間に塗布された接着剤は特定の条件下で硬化し、基板間の接合を強化します。これにより、基板間の密着性が高まり、製品の品質と信頼性が向上します。

関連キーワード

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参考情報

活用条件

  • サブスクリプション・未選択
  • 権利譲渡・未選択
  • ライセンス契約・未選択
商品化・サービス化
ASK
実証実験
ASK
サンプル・プロトタイプ
ASK

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権利概要

出願番号
特願2014-528106
発明の名称
基板貼合装置及び基板貼合方法
出願人/権利者
芝浦メカトロニクス株式会社
住所
神奈川県横浜市栄区笠間2-5-1
公開番号
WO2014/021192
登録番号
特許第5852244号
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