革新的な光インプリント用樹脂組成物とその活用方法
丸善石油化学株式会社
千葉県市原市五井南海岸３番地
この技術でできること
独自の化学構造を持つ光硬化性モノマーと交硬化性モノマーを含む光インプリント用樹脂組成物。
相談したいこと
技術の特徴
本特許は、光硬化性モノマー(A)と交硬化性モノマー(B)を含む光インプリント用樹脂組成物を提供します。この樹脂組成物は、独自の化学構造を持つ化合物を活用しており、塗布、パターン形成、硬化、剥離といった一連の工程を経て微細構造体を製造することができます。また、硬化させた樹脂をマスクとして基材をエッチングする工程も含まれています。この組成物は、膜厚が10nmから40μmの硬化物からなる光インプリント用樹脂薄膜を得ることが可能で、精密なパターン形成や微細構造体の製造に大いに貢献します。
関連キーワード
AIによる特許活用案
ナノスケールのパターン形成
光インプリント技術を利用して、ナノスケールのパターンを形成することが可能です。これは、半導体デバイスやマイクロ電子機器の製造において極めて有用な技術といえます。
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参考情報
活用条件
- サブスクリプション・未選択
- 権利譲渡・未選択
- ライセンス契約・未選択
- 商品化・サービス化
- ASK
- 実証実験
- ASK
- サンプル・プロトタイプ
- ASK
掲載者による選択状態を表示しています。未選択や ASK は、利用不可を意味するものではありません。
権利概要
- 出願番号
- 特願2012-552640
- 発明の名称
- 光インプリント用樹脂組成物、パターン形成方法及びエッチングマスク
- 出願人／権利者
- 丸善石油化学株式会社
- 住所
- 千葉県市原市五井南海岸３番地
- 公開番号
- WO2012/096071
- 登録番号
- 特許第5890323号