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革新的な微小電気機械システム製造法

国立研究開発法人産業技術総合研究所

茨城県つくば市梅園1-1-1 つくば中央第1(産総研内)

革新的な微小電気機械システム製造法
掲載画像・国立研究開発法人産業技術総合研究所

この技術でできること

金型と特殊フィルムを活用した微小電気機械システムの製造方法

技術の特徴

この特許は、微小電気機械システムの製造方法について述べています。これは、機能層保持部分とそれを支持するフレームからなる構造体を成形する金型に熱硬化型樹脂を注入する工程、前記金型に対し、機能層及び離型層を印刷形成したフィルムを位置決めし、前記熱硬化型樹脂が注入された前記金型に圧着させる工程などが含まれます。加えて、金型を加熱して前記熱硬化型樹脂を硬化させる工程、前記フィルムを金型から剥離することにより、前記離型層により、前記機能層を前記金型内で硬化した樹脂の内部に転写させ、前記機能層保持部分に保持させる工程も含まれます。

関連キーワード

電気機械システム製造法金型

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高品質な微小電気機械システムの製造

この特許の技術を使用することで、微小電気機械システムの製造過程で一貫性と精度を保つことが可能となります。これにより、製造業者はより高品質な製品を生産し、市場競争力を向上させることができます。

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参考情報

活用条件

  • サブスクリプション・未選択
  • 権利譲渡・未選択
  • ライセンス契約・未選択
商品化・サービス化
ASK
実証実験
ASK
サンプル・プロトタイプ
ASK

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権利概要

出願番号
特願2012-522666
発明の名称
微小機械システム
出願人/権利者
国立研究開発法人産業技術総合研究所
住所
茨城県つくば市梅園1-1-1 つくば中央第1(産総研内)
公開番号
WO2012/002446
登録番号
特許第5911144号
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