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高精度な対象物測定を可能にする革新的な測定装置

国立研究開発法人理化学研究所

埼玉県和光市広沢2番1号

この技術でできること

本特許は、広視野からの光を狭帯域のバンドパスフィルタを介して検出し、対象物の精密な測定を可能にする装置とその方法に関する。

技術の特徴

本発明は特に、広角視野からの光をテレセントリック光学系を用いて独特な形状のフィルタを介して受けることで、対象物に投射したプローブ光に含まれる背景光から分離する測定装置とその方法に関する。このシステムは、レンズの開口面積を制限せずに、広範囲の視野からの光を高精度に検出することが可能。これにより、製造業などにおける対象物の高精度な測定や分析が可能となり、生産性の向上に直結する。

関連キーワード

バンドパスフィルタプローブ光高精度測定テレセントリック光学系広視野検出

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高精度な品質管理の実現

本発明の採用により、製品の微細な形状やサイズを高精度に測定することが可能となります。これにより、品質管理の精度を大幅に向上させることが可能となります。

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参考情報

活用条件

  • サブスクリプション・未選択
  • 権利譲渡・未選択
  • ライセンス契約・未選択
商品化・サービス化
ASK
実証実験
ASK
サンプル・プロトタイプ
ASK

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権利概要

出願番号
特願2020-065320
発明の名称
測定装置及び測定方法
出願人/権利者
国立研究開発法人理化学研究所
住所
埼玉県和光市広沢2番1号
公開番号
特開2021-162492
登録番号
特許第7398106号
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